一、基本參數(shù)
1、潔凈度
潔凈度是潔凈室的重要基本的技術(shù)指標(biāo)。其單位是：單位體積的空氣中粒徑不小于某一尺度的微粒個數(shù)。尤其是微電子行業(yè)對于潔凈室的要求較高。
2、微生物濃度
微生物濃度是潔凈室的另一項重要技術(shù)指標(biāo)。其單位是：單位體積的空氣中微生物個數(shù)。生物工程行業(yè)對于微生物濃度的要求較高，其次是醫(yī)療、制藥、食品、飲料、化妝品等行業(yè)?？諝庵械奈⑸锸强諝馕⒘５囊徊糠郑_切的說是危害較大的一部分。通常測定的是空氣中細菌的濃度。
3、溫度
溫度是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于溫度都有明確的要求。溫度會影響植體的尺度，從而影響加工的度，從而影響加工的度，所以精密加工對于溫度有相當(dāng)嚴格的要求。溫度會影響儀器的參數(shù)，從而產(chǎn)生測定誤差，所以精密測量儀器對于溫度的要求也較高。
4、濕度
濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于濕度都有明確的要求。濕度過大會使許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至使設(shè)備失效，產(chǎn)品報廢。濕度過低又會使許多物質(zhì)脫水變形，失去原有的功能。
5、風(fēng)速與風(fēng)量
足夠的風(fēng)速與風(fēng)量是潔凈度的保證，過大的風(fēng)速與風(fēng)量不僅浪費能量，而且有時會影響正常的工作。
6、氣壓與壓差
正常的氣壓是正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄露。病毒實驗室或傳染病房不允許室內(nèi)空氣向室外泄露。
7、噪聲
過大的噪聲不僅會影響正常的工作，而且會影響人員的身體健康，降低噪聲是潔凈度的一項基本要求。
8、照度
適當(dāng)?shù)恼斩仁钦９ぷ鞯谋匾獥l件。
二、特殊參數(shù)
1、振動
振動會影響儀器設(shè)備的穩(wěn)定性，從而影響儀器的準確度，還會影響設(shè)備的加工度，所以有些潔凈室需要控制振動。
2、靜電
靜電有許多危害，特別容易損壞微電子元件，所以微電子行業(yè)采取相應(yīng)的防護措施，預(yù)防靜電的產(chǎn)生或者使產(chǎn)生的靜電能夠及時泄漏，以減少靜電對電子行業(yè)所造成的損失。
3、有害氣體濃度
有害氣體的種類繁多，有的會損害人體健康，有的會影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品合格率，所以潔凈度需要控制有害氣體濃度。
4、輻射強度
X射線、Y射線、電磁波等輻射對人體有較大的的損害，有時對生產(chǎn)設(shè)備或產(chǎn)品也有損害。